AURION ANLAGENTECHNIK GMBH

Am Sandborn 14, Seligenstadt 63500

Германия

Посетете уебсайта

Доставка: В световен мащаб

Основан: 1996

Служители: 20-49

Тип на доставчика

Производство

Относно нас

AURION Anlagentechnik GmbH - Plasmatechnologie = Plasmasysteme + HF-Komponenten Die AURION Anlagentechnik GmbH беше основана в края на 1996 година от трима съдружници. Идеята, която стоеше зад създаването на тази фирма, беше да се произвеждат компоненти и цели системи за обработка на повърхности, които са ефективни, икономически изгодни и екологично чисти. AURION разработва и изгражда компоненти за захранване на Plasmasysteme. Към тях спадат мрежи за адаптиране на импеданса с единица за автоматично настройване, както и филтри, превключватели, фазови измествания, разпределители на мощност, кабели и свързващи елементи. Основният акцент е върху високочестотните плазмени процеси при 13,56 и 27,12 MHz. Използвайки ноу-хау от производството на компоненти, AURION предлага също така цели системи за плазмено подпомагане на обработката на повърхности, което означава както за почистване и модификация на повърхности, така и за процеси на покритие и ецване (PVD, PECVD, RIE, микровълна).

9 Продукти и услуги

HF системи за ускорители на частици (ACCELOS СЕРИЯ)

Манипулация на лъч в ускорители на частици (напр. компресия на купчини), напълно интегрирани системи от кавитет с, лъчеви тръби и HF усилвател. Лъчева...

Инлайн системи

AURION предлага специално проектирани многокамерни системи с транспорт на субстрат под вакуум. Наличните конфигурации включват шлюзови камери, камери...

COMPACT-MW

Компактни системи, минимален отпечатък - Високи плътности на плазмата за кратки процеси - Оптимизирана хомогенност чрез плазмен масив с 2-измерителна ...

PIKNOS 30 MW

Макс. 4 контролера на газов поток с дебит до 500 sccm на контролер, захранване: 3/N/PE AC 400/230V, обем на камерата: 30 л, размери (ШxДxВ): 1,0 x 0,8...

Концепцията KIVOS: Плазмени системи

KIVOS е много гъвкава, модулна концепция за плазмени системи. Тези системи могат да се използват в най-различни области на приложение, като например ...

RIE-ПРИНЦИП: CYLOS 160/RIE

Вакуумни резервоари, изработени от алуминий или неръждаема стомана, вакуумни помпи в корозионно-устойчива версия, включително маслоуловител с рециркул...

Плазмени системи

Комплексни системи за обработка и покритие на повърхности с помощта на плазмени процеси Активация, почистване и гравиране с атмосферно налягане плазм...

Клъстерни системи

AURION предлага многокамерни системи, специално проектирани за вашите изисквания с обработка на субстрати под вакуум. Наличните конфигурации включват...