RIE-ПРИНЦИП: CYLOS 160/RIE

Вакуумни резервоари, изработени от алуминий или неръждаема стомана, вакуумни помпи в корозионно-устойчива версия, включително маслоуловител с рециркулация на масло, до 4 маслени регулатора на потока за газоснабдяване. Адаптиран вход за газ за оптимално разпределение. Измерване на налягането в зависимост от изискванията с капацитивна измервателна тръба или резистивен манометър (Пирани). Включване на HF мощността чрез импедансни адаптационни мрежи, проектирани и изградени от AURION, с автоматично настройване. Разпределение на мощността (при няколко катода). DC-Bias регулиране за еднакво Bias-потенциал на няколко катода. По избор полуавтоматично или PC управление, включително управление на рецепти и запис на данни.