KIVOS е много гъвкава, модулна концепция за плазмени системи.
Тези системи могат да се използват в най-различни области на приложение, като например фино почистване и активиране на повърхности, реактивно йонно ецване (RIE) и покритие (PECVD, PVD). Концепцията позволява на AURION да произвежда висококачествени продукти на достъпни цени. Нашите клиенти се възползват от това ценово предимство. Друга предимство е, че една единствена система може да се използва за много различни приложения.
Манипулация на лъч в ускорители на частици (напр. компресия на купчини), напълно интегрирани системи от кавитет с, лъчеви тръби и HF усилвател. Лъчева...
Макс. 4 контролера на газов поток с дебит до 500 sccm на контролер, захранване: 3/N/PE AC 400/230V, обем на камерата: 30 л, размери (ШxДxВ): 1,0 x 0,8...
Вакуумни резервоари, изработени от алуминий или неръждаема стомана, вакуумни помпи в корозионно-устойчива версия, включително маслоуловител с рециркул...
Комплексни системи за обработка и покритие на повърхности с помощта на плазмени процеси
Активация, почистване и гравиране с атмосферно налягане плазм...
AURION предлага специално проектирани многокамерни системи с транспорт на субстрат под вакуум.
Наличните конфигурации включват шлюзови камери, камери...
Компактни системи, минимален отпечатък - Високи плътности на плазмата за кратки процеси - Оптимизирана хомогенност чрез плазмен масив с 2-измерителна ...
AURION предлага многокамерни системи, специално проектирани за вашите изисквания с обработка на субстрати под вакуум.
Наличните конфигурации включват...
Манипулация на лъч в ускорители на частици (напр. компресия на купчини), напълно интегрирани системи от кавитет с, лъчеви тръби и HF усилвател. Лъчева...
Макс. 4 контролера на газов поток с дебит до 500 sccm на контролер, захранване: 3/N/PE AC 400/230V, обем на камерата: 30 л, размери (ШxДxВ): 1,0 x 0,8...
Вакуумни резервоари, изработени от алуминий или неръждаема стомана, вакуумни помпи в корозионно-устойчива версия, включително маслоуловител с рециркул...
Комплексни системи за обработка и покритие на повърхности с помощта на плазмени процеси
Активация, почистване и гравиране с атмосферно налягане плазм...
AURION предлага специално проектирани многокамерни системи с транспорт на субстрат под вакуум.
Наличните конфигурации включват шлюзови камери, камери...
Компактни системи, минимален отпечатък - Високи плътности на плазмата за кратки процеси - Оптимизирана хомогенност чрез плазмен масив с 2-измерителна ...
AURION предлага многокамерни системи, специално проектирани за вашите изисквания с обработка на субстрати под вакуум.
Наличните конфигурации включват...