AURION предлага многокамерни системи, специално проектирани за вашите изисквания с обработка на субстрати под вакуум.
Наличните конфигурации включват камери за зареждане, трансферни камери и процесни модули за процеси на спрей и RIE.
Компактни системи, минимален отпечатък - Високи плътности на плазмата за кратки процеси - Оптимизирана хомогенност чрез плазмен масив с 2-измерителна ...
AURION предлага специално проектирани многокамерни системи с транспорт на субстрат под вакуум.
Наличните конфигурации включват шлюзови камери, камери...
Комплексни системи за обработка и покритие на повърхности с помощта на плазмени процеси
Активация, почистване и гравиране с атмосферно налягане плазм...
Макс. 4 контролера на газов поток с дебит до 500 sccm на контролер, захранване: 3/N/PE AC 400/230V, обем на камерата: 30 л, размери (ШxДxВ): 1,0 x 0,8...
Манипулация на лъч в ускорители на частици (напр. компресия на купчини), напълно интегрирани системи от кавитет с, лъчеви тръби и HF усилвател. Лъчева...
KIVOS е много гъвкава, модулна концепция за плазмени системи.
Тези системи могат да се използват в най-различни области на приложение, като например ...
Вакуумни резервоари, изработени от алуминий или неръждаема стомана, вакуумни помпи в корозионно-устойчива версия, включително маслоуловител с рециркул...
Компактни системи, минимален отпечатък - Високи плътности на плазмата за кратки процеси - Оптимизирана хомогенност чрез плазмен масив с 2-измерителна ...
AURION предлага специално проектирани многокамерни системи с транспорт на субстрат под вакуум.
Наличните конфигурации включват шлюзови камери, камери...
Комплексни системи за обработка и покритие на повърхности с помощта на плазмени процеси
Активация, почистване и гравиране с атмосферно налягане плазм...
Макс. 4 контролера на газов поток с дебит до 500 sccm на контролер, захранване: 3/N/PE AC 400/230V, обем на камерата: 30 л, размери (ШxДxВ): 1,0 x 0,8...
Манипулация на лъч в ускорители на частици (напр. компресия на купчини), напълно интегрирани системи от кавитет с, лъчеви тръби и HF усилвател. Лъчева...
KIVOS е много гъвкава, модулна концепция за плазмени системи.
Тези системи могат да се използват в най-различни области на приложение, като например ...
Вакуумни резервоари, изработени от алуминий или неръждаема стомана, вакуумни помпи в корозионно-устойчива версия, включително маслоуловител с рециркул...