RF Технология за Усещане

RF сензор с FabGuard предоставя анализ на плазмените процеси в реално време, за да намали значително променливостта на процеса Технологията на RF сензорите на INFICON предлага изключително точни, широколентови, честотно дискриминиращи RF измервания за инструменти за обработка на полупроводници. Тези RF данни предоставят подробна информация за действителните плазмени условия както при разработката на процеси, така и при проблеми в производствения процес, за да се намали значително променливостта на процеса. Най-новото в серията от усъвършенствани сензори за контрол на процесите в ин-ситу, този неинвазивен RF сензор с кабелна инсталация в линия се комбинира с FabGuard Sensor Integration and Analysis System, за да предложи критична диагностична информация, напр. точни измервания на мощността на камерата и процеса, анализ на основните причини за неизправности (като проблеми с мрежата за съвпадение), отпечатъци на процеса за съвпадение на камерите и моделиране на метролозията на ваферите в PVD, CVD и приложения за ецване. Технологията на RF сензорите на INFICON с FabGuard генерира изключително точни модели, които предсказват метролозията на ваферите...