Анализатори на остатъчни газове (RGA) и Масови спектрометри - MPH100F

ОТКЛЮЧЕТЕ ВАШИЯ ПРОЦЕС Непревзходна производителност за увеличени добиви и максимално време на работа Нарастващата цена на силициевите пластини и търсенето на готови продукти означава, че отпадъчните пластини струват повече от всякога. Следователно, разбирането на вашия процес и мониторингът за дефекти са станали много по-важни в центровете за производство на полупроводници. Системата за анализ на газове Transpector MPH е проектирана да отключи вашия процес с водеща в индустрията производителност за всички ваши приложения за анализ на газове, за да помогне за максимизиране на добивите на чипове и минимизиране на времето на неработоспособност на инструментите. В комбинация с ниски общи разходи за притежание и високо средно време между повреди, Transpector MPH помага на вашата печалба повече от всяка друга Residual Gas Analyzer (RGA) на пазара. INFICON е използвал своя опит в оборудването за контрол на процесите на анализ на газове, за да създаде RGA с водеща в индустрията скорост на събиране на данни, минимално откриваемо частично налягане и съотношение сигнал-шум. Всичко това, без да се жертва... Дължина на сензора: 14.3 см Обхват на масата: 100 amu Тип детектор: FC Чувствителност (FC): 6E-4 A/Torr Чувствителност (EM): NA Мин. откриваемо частично налягане (4): 3E-13 Torr Макс. работна температура на сензора (FC): 200°C Макс. работна температура на сензора (EM): NA Опция за тип на филмента (1): Y2O3/Ir Опция за тип на филмента (2): Вольфрам Макс. скорост на данни на точка: 1.8 ms Макс. работно налягане: 5E-4 Torr Макс. температура на печене: 300 Входящо захранване: 20-30 VDC