RF Технология за Усещане

НЕИНВАЗИВЕН, ЗАЩИПВАЩ RF ДЕТЕКТОР ОСИГУРЯВА БЪРЗО ОТКРИВАНЕ НА ИСКРИ В iPVD, PECVD И ЕТЧ Намаляване на загубите на вафли и подобряване на добивите Искренето по време на плазмено обработване може да доведе до повреди на целта и камерата, което води до повреди на субстрата и създаване на частици. С намаляване на размерите на елементите, микроелектронните устройства стават все по-податливи на повреди, причинени от искри. Искренето може да се случи в който и да е процес, подпомаган от плазма, като йонизирано физическо изпарение (iPVD), плазмено усилено химическо изпарение (PECVD) и ецване. ДЕТЕКТОРЪТ ЗА ИСКРИ INFICON Sion осигурява важна първа линия на защита. Sion позволява бързо откриване на микро-искри и реагиране на тях преди да настъпят значителни повреди или отпадъци. Системата предоставя откриване и анализ в реално време на събития с микро-искри в плазмата.