RF Технология за Усещане

Sion™ RF детекторът ви дава по-строг контрол и по-високи добиви в процесите на химично парно отлагане (CVD) и ецване, като надеждно и точно определя края на почистването на камерата. По-точното определяне на края означава по-ниски нива на частици на вафлата и повече време между цикли на превантивна поддръжка. Предоставяйки редица предимства в сравнение с контролерите, базирани на оптични емисионни спектрометри (OES), Sion работи с FabGuard® Интеграционна и Анализна Система, за да намали загубеното време и материали, които произтичат от недостатъчно или прекомерно ецване на камерата.