ИНТЕГРИРАНО УПРАВЛЕНИЕ НА РЕЦЕПТИ ЗА ИНСТРУМЕНТИ
Увеличаващата се сложност на производството и изискванията за по-добър контрол на процесите изискват по-добра интеграция и управление. Безпроблемната интеграция на FDC и автоматизация на фабриката и контрол на оборудването е критична за осигуряване на точна превенция на отклоненията и стриктен контрол върху работата на фабричното оборудване.
Системата за управление на рецепти FabGuard™ помага на производителите на полупроводници, дисплеи и соларни панели да се справят с тези предизвикателства, предоставяйки централен архив и управление на рецептите за процесно оборудване. Като добавка към системата за откриване и класификация на неизправности FabGuard, FabGuard FG-RMS разширява съществуващите системи FabGuard, за да включи необходимите възможности за управление на рецепти за процеси на инструменти в цялата фабрика.
ЦЕНТРАЛНОТО УПРАВЛЕНИЕ УВЕЛИЧАВА ПРОДУКТИВНОСТТА
FabGuard предоставя централно управление на рецептите за процеси на инструменти, използвайки познатата и надеждна инфраструктура на FabGuard. Инженерите могат да преглеждат, редактират, внедряват и управляват рецепти за процеси от своите настолни компютри или...
Управление на инструменти, специфично за процеса
Системите за интеграция и анализ на сензори INFICON предоставят верификация и контрол на процеса, вк...
Мощни, но компактни решения за внедряване на FabGuard
Контролерите FabGuard предоставят мощни компактни решения за внедряване на интегрирани решения з...
Мъдра технология
Тестове за течове с детектор, на който можете да разчитате
INFICON Protec P3000(XL) детектор за течове с хелий е специално проектир...
Комбинираният манометър INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG400, функционира като два манометъра в един компактен уред, измерващ от 5×10 -10 mbar до атмо...
НЕИНВАЗИВЕН, ЗАЩИПВАЩ RF ДЕТЕКТОР ОСИГУРЯВА БЪРЗО ОТКРИВАНЕ НА ИСКРИ В iPVD, PECVD И ЕТЧ
Намаляване на загубите на вафли и подобряване на добивите
Ис...
RF сензор с FabGuard предоставя анализ на плазмените процеси в реално време, за да намали значително променливостта на процеса
Технологията на RF сен...
Комбинираният манометър INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG400, функционира като два манометъра в един компактен уред, измерващ от 5×10 -10 mbar до атмо...
Инфекционният Пениг Гаuge PEG100 предоставя надеждни измервания на високо вакуум. Здравият пениг студен катоден сензор няма филтър, който да изгори. П...
Sion™ RF детекторът ви дава по-строг контрол и по-високи добиви в процесите на химично парно отлагане (CVD) и ецване, като надеждно и точно определя к...
Тест за течове за най-високи изисквания за качество
INFICON предприема още една стъпка към откритие на течове на най-високо ниво с детектора за течов...
Дисплеят за вакуумни манометри INFICON VGD500 се свързва с нашата продуктова линия CDG, за да предостави 4-цифров дисплей. Това е малко устройство, ко...
Поставяне на нови стандарти за откриване на течове с помощта на сензори
Многофункционалният детектор за течове INFICON Ecotec E3000 въвежда нови нива...
Най-мощната машина за възстановяване на хладилен агент, налична с най-добрата гаранция в индустрията
Новият Vortex® Dual комбинира доказаните възможн...
Управление на инструменти, специфично за процеса
Системите за интеграция и анализ на сензори INFICON предоставят верификация и контрол на процеса, вк...
Мощни, но компактни решения за внедряване на FabGuard
Контролерите FabGuard предоставят мощни компактни решения за внедряване на интегрирани решения з...
Мъдра технология
Тестове за течове с детектор, на който можете да разчитате
INFICON Protec P3000(XL) детектор за течове с хелий е специално проектир...
Комбинираният манометър INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG400, функционира като два манометъра в един компактен уред, измерващ от 5×10 -10 mbar до атмо...
НЕИНВАЗИВЕН, ЗАЩИПВАЩ RF ДЕТЕКТОР ОСИГУРЯВА БЪРЗО ОТКРИВАНЕ НА ИСКРИ В iPVD, PECVD И ЕТЧ
Намаляване на загубите на вафли и подобряване на добивите
Ис...
RF сензор с FabGuard предоставя анализ на плазмените процеси в реално време, за да намали значително променливостта на процеса
Технологията на RF сен...
Комбинираният манометър INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG400, функционира като два манометъра в един компактен уред, измерващ от 5×10 -10 mbar до атмо...
Инфекционният Пениг Гаuge PEG100 предоставя надеждни измервания на високо вакуум. Здравият пениг студен катоден сензор няма филтър, който да изгори. П...
Sion™ RF детекторът ви дава по-строг контрол и по-високи добиви в процесите на химично парно отлагане (CVD) и ецване, като надеждно и точно определя к...
Тест за течове за най-високи изисквания за качество
INFICON предприема още една стъпка към откритие на течове на най-високо ниво с детектора за течов...
Дисплеят за вакуумни манометри INFICON VGD500 се свързва с нашата продуктова линия CDG, за да предостави 4-цифров дисплей. Това е малко устройство, ко...
Поставяне на нови стандарти за откриване на течове с помощта на сензори
Многофункционалният детектор за течове INFICON Ecotec E3000 въвежда нови нива...
Най-мощната машина за възстановяване на хладилен агент, налична с най-добрата гаранция в индустрията
Новият Vortex® Dual комбинира доказаните възможн...