Най-добро качество на изображението с вградена акустична и вибрационна изолация, активна термостабилизация, индустриално най-нисък шум на сензора за оптично отклонение на лъча от 25 fm/√Hz и уникален дизайн на системата за сканиране с върха, което позволява рутинно високо резолюционно изображение.
Оборудван с над 50 AFM режима, включително HybriD режим, всички авангардни наномеханични, електрически и магнитни изследвания са налични в основната конфигурация.
Автоматизирано изследване на масиви от проби по потребителски определен сценарий с база данни за съхранение на изображения.
Инспекция на проби с размери до 200×200 мм и 40 мм височина на всяка точка с точност на позициониране от 1 μm.
Smart ScanT™ софтуер за оптимизация на параметрите на сканиране с едно кликване. Това не е просто алгоритъм, а уникален спътник, който помага на новаците в AFM да получат изображения с индустриално качество и подпомага експертите.
Широки възможности за персонализиране и интеграция на допълнително оптично оборудване.
Тип: тръбен скенер с затворен контур на сензорите. Сканиране с върха.
Сканиращ обхват, XYZ: 100×100×10 µm или 2×2×1 µm в режим на ниско напрежение.
Тип позициониране на върха-проба: моторизирано позициониране на пробата в XYZ.
Термично отклонение XYZ: по-малко от 0.2 nm/min.
Обхват на движение: 200×200 мм в XY, 30 мм в Z.
Точност на позициониране: 1 µm в XY, 0.2 µm в Z.
Скорост на позициониране: 8 mm/sec в XY.
Приближаване: интелигентен алгоритъм за меко приближаване.
Шум на сензора за оптично отклонение на лъча: <25 fm/√Hz над 50 kHz.
Резолюция: 0,98 μm.
Поле на видимост: до 1.2×0.8 mm (5 Mpixel).
Автофокус: на кантилевера, на пробата.
AFM сонди: държачът на сонди поддържа повечето търговски налични сонди.
Брой канали за сканиране: до 24.
Обработка на сигнала: 512 Mb буфер, 3x 340 MHz FPGA, 320 MHz DSP.
Усилватели Lock-in: 2x аналогови усилватели Lock-in, 3x цифрови усилватели Lock-in (поддържащи многофункционални AFM режими).
Генератори: 6x 32-битови цифрови генератори, 4x за Lock-in.
Авто-тест: автоматизирана проверка на производителността.
Автоматична настройка на параметрите на сканиране: амплитуда на задвижването, усилване на Lock-in, зададена точка, усилване на обратната връзка, скорост на сканиране.
Инструменти за програмиране: език Nova PowerScript, интеграция с LabView, интеграция с база данни.
PC интерфейс: USB.
Температурна стабилизация: вградена термална стабилизация без вентилатор с точност 0.05 °C.
Акустична изолация: вградена акустична обвивка.
Вибрационна изолация: вградена активна маса за вибрационна изолация.
Нанолитография: Напрежение, Ток, Сила (Всички векторни и растерни).
Спектроскопия: Сила-, Амплитуда-, Фаза-, Честота-, Ток-Разстояние, I(V), Пиезопулс, Персонализиран режим.
Размери: Ш×Д×В; 810×610×1450 мм.