Нанасяне на Тънки Филми - IC6

ПРАВЕНЕТО НА ИЗКЛЮЧИТЕЛНОТО ПОВТОРЯЕМО IC6 с множество функции предлага най-добрата възможна прецизност на измерване Контролерът за депозиране на тънки филми IC6 предлага изключителна стойност, като комбинира доказаното представяне на контролерите за тънки филми на INFICON с уникални функции, всички проектирани, за да постигнете максимума от вашия процес на депозиране. IC6 използва нашата система за измерване на честота ModeLock, за да предостави стабилно, високо резолюционно измерване на скорост и дебелина с водеща в индустрията резолюция на скоростта от 0.00433 Å/s на всеки 1/10 секунда. Нито един друг контролер за кварцови кристали не притежава представянето, качеството и функциите на IC6, което ви позволява да правите изключителното повторяемо. 1 Å за 0 до 9.999 kÅ 10 Å за 10.00 до 99.99 kÅ 100 Å за 100.0 до 999.9 kÅ 1 kÅ за 1000 до 9999 kÅ 0.001 за 0 до 9.999 Å/s, ако настройката на времето за филтър на скоростта е 10 секунди или повече 0.01 за 0 до 99.99 Å/s 0.1 за 100 до 999.9 Å/s 100 – 230 V (променлив ток) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz (1) Инструменти/плътност = 100/1, основна честота = 6 MHz (2)... Резолюция на честотата: ±0.0035 Hz @ 6 MHz Резолюция/измерване на дебелината и скоростта (1): ±0.00433 Å Честотен диапазон на измерване: 6.0 до 4.5 MHz (фиксиран) Точност на дебелината (2): 0.5% Интервал на измерване: 0.10 с Средно аритметично на множество измервания: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0 и 30.0 сек. средно аритметично разрешено Авто Z: да Автозвук: да Съвместно депозиране: да (до 6 източника) Програми за материали: 32 Процесни слоеве (на процес): 200 Процеси: 50 (процесите могат да бъдат свързани) USB памет: да Запис на данни: да Двоен / CrystalTwo®: 4 / 8 (с CrystalTwo ® Switch) Брой източници (4): до 6 Контрол на напрежението на източника: 0 до +/-10 V, регулируемо Резолюция на изхода: 15 бита в целия диапазон (0 до 10V) Позиции на crucible: 64 Входове: 14 стандартни, до 28 опционални; съвместими с TTL/CMOS логика или затваряне до земя Изходи: 8 стандартни, до 24 опционални програмируеми SPST реле с рейтинг 30 V(dc) или 30 V(ac) RMS или 42 V пиково Изход на записвача (4): 0 до +10 V, регулируемо Логически изрази: 100 напълно програмируеми; до 5 действия, 5 събития на израз Стандарт: RS232 Опционално: Ethernet Резолюция на дебелината: 1 Å за 0 до 9.999 kÅ 10 Å за 10.00 до 99.99 kÅ 100 Å за 100.0 до 999.9 kÅ 1 kÅ за 1000 до 9999 k Резолюция на скоростта: 0.001 за 0 до 9.999 Å/s, ако настройката на времето за филтър на скоростта е 10 секунди или повече 0.01 за 0 до 99.99 Å/ Изисквания за захранване: 100 – 230 V (променлив ток) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz Работна температура: 0 до 50 C (32 до 122 F) Размери, без стойки (височина x ширина x дълбочина): 5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm) Тегло: 23 lbs (10.5 kg)