формиране на омичен контакт

... вълната диоден помпен твърдотелен (DPSS) лазерен източник с наносекундни импулси и сканиране на точка, за да обработи цялата метализирана задна страна на SiC ваферите. Тя образува охмически интерфейси и лекува дефекти от шлифоване, като предотвратява образуването на големи въглеродни клъстери и термично свързани повреди на предната страна на вафера. Най-добра в класа цена на вафер Висока производителност – 150 мм вафери могат да бъдат обработвани в една стъпка Гъвкаво програмиране на рецепти и широк диапазон от параметри.