керамични структурни части от алуминиев нитрид

...Със своите свойства на електрическа изолация и отлична термична проводимост, керамиката от алуминиев нитрид е идеална за приложения, при които е необходимо разсейване на топлината. Освен това, тъй като предлага коефициент на термично разширение (CTE), близък до този на силиция, и отлична устойчивост на плазма, тя се използва за компоненти на оборудване за обработка на полупроводници.