Микропозиционер MS15
Ultra-kompakter Mikropositionierer für open-loop Einsatz mit 3,5 bzw. 10 mm Verstellweg
Ultra-kompakter Mikropositionierer in Standard, HV und UHV-Ausführung mit 3,5 bwz. 10 mm Verstellweg.
Mit Piezocontroller CF30 kann eine Schrittweite von 10 nm erreicht werden.
Verschiebeweg: 3,5 bzw. 10 mm
Schrittweite open loop (mit CF30 Controller): ca. 10 nm
Gewicht: 6 g bzw. 20 g
Verstellweg: 3,5 mm