магнетронно спрей вакуумно покритие машини - Технологията за магнитронно спрей на средна честота постепенно стана основна

Технологията на магнитронно разпръскване с междинна честота постепенно стана основен метод в технологията за нанасяне на покрития. Покритие: Многофункционално метално покритие, композитен филм, прозрачно проводимо покритие, увеличаване на възвръщаемостта на покритията, електромагнитно екраниращо покритие, декоративно покритие и др. Захранване: DC магнитронно разпръскващо захранване, MF разпръскващо захранване, захранване за бомбардиране с високо налягане. Цел: DC магнитронно разпръскваща цел, MF двойни цели, плоска цел, цилиндрична цел. Структура на вакуумната камера: Вертикална сигнална врата, вертикални двойни врати. Помпена система: Молекулярна помпа (дифузионна помпа) + помпа Roots + задържаща помпа (по избор: турбопомпа, поликолдна система) Въздушна система: Контролер на масовия поток (1-4 пъти) Краен вакуум: 6x10-4pa (без натоварване, чиста камера) Време за изпомпване: Без натоварване от въздух до 5x10-3pa < 13 минути Режим на движение на работното място: 6 оси / 8 оси / 9 оси общо и самообрат Размери: Φ800*H900mm, 1100*H1200mm, Φ1350*H1250mm, Φ1600*H1250mm, Φ1900*H1250mm Въздушна система: Контролер на масовия поток (1-4 пъти) Краен вакуум: 6x10-4pa (без натоварване, чиста камера)