стабилна гранитна и чугунена стойка
с ръчно регулиране по Z
високопроизводителен стъпков контролер за движение
с джойстик и сериен интерфейс
XY етап GT8, ротационен етап RT5, чук за вафли WC6
прецизен XY етап GT8 с ход 200 x 200 мм
ротационен етап RT5 с висока кръгова и
плоска точност под 5 µm
чука за вафли WC6 за вафли с диаметър 4-12" чук за вафли с вакуумна фиксация
за вафли с диаметър 12", 10", 8", 6" и 4"