Ims5420-th Система за измерване на дебелината на вафли - Интерферометри (бяла светлина)

IMS5420 е високопроизводителен интерферометър за бяла светлина за безконтактно измерване на дебелината на монокристални силициеви пластини. Контролерът разполага с широколентов суперлюминесцентен диод (SLED) с диапазон на вълната от 1,100 nm. Това позволява измерване на дебелината на недопирани, допирани и силно допирани силициеви пластини с един единствен измервателен система. IMS5420 постига стабилност на сигнала по-малка от 1 nm. Дебелината може да бъде измерена от разстояние 24 mm.