Нанасяне на Тънки Филми - Cygnus 2

Най-добрата възможна прецизност на измерванията за OLED приложения Контролерът за депозиране на тънки филми Cygnus 2 предлага изключителна стойност, като комбинира доказаното представяне на контролерите за тънки филми INFICON с уникални функции, всички проектирани, за да постигнете максимума от вашия OLED процес. Cygnus 2 използва нашата система за измерване на честота ModeLock, за да предостави стабилни, високо резолюционни измервания на скорост и дебелина с водеща в индустрията резолюция на скоростта от 0.00433 Å/s на всеки 1/10 секунда. Нито един друг контролер за кварцови кристали не притежава представянето, качеството и функциите на Cygnus 2, което ви позволява да направите отличието повтаряемо. 1 Å за 0 до 9.999 kÅ 10 Å за 10.00 до 99.99 kÅ 100 Å за 100.0 до 999.9 kÅ 1 kÅ за 1000 до 9999 kÅ 0.001 за 0 до 9.999 Å/s 0.01 за 0 до 99.99 Å/s 0.1 за 100 до 999.9 Å/s 100 – 230 V (променлив ток) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz (1) Инструменти/плътност = 100/1, основна честота = 6 MHz (2) Варира в зависимост от процеса; цифрите отразяват типична точност (3) Максимална конфигурация на... Резолюция на честотата: ±0.0035 Hz @ 6 MHz Резолюция/измерване на дебелината и скоростта (1): ±0.00433 Å Честотен диапазон на измерване: 6.0 до 4.5 MHz (фиксиран) Точност на дебелината (2): 0.5% Интервал на измерване: 0.10 с Средно аритметично на множество измервания: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0 и 30.0 сек. средно аритметично разрешено Множествени измервания с датчици: да (до 6 датчика) Авто Z: да Ко-депозиране: да (до 6 датчика) Програми за материали: 6 независими материала USB памет: да Запис на данни: да Двоен с CrystalTwo®: 6 (с един CrystalTwo Switch на вход за датчик) Брой източници (4): до 6 Контрол на източниците: 0 до +/-10 V, регулируемо Резолюция на изхода: 15 бита в целия диапазон (0 до 10V) Позиции на crucible: 64 Входове: 14 стандартни, до 28 опционални; съвместими с TTL/CMOS логика или затваряне към земя Изходи: 8 стандартни, до 24 опционални програмируеми SPST реле с рейтинг 30 V(dc) или 30 V(ac) RMS или 42 V пиково Изход на рекордер (4): 0 до +10 V, регулируемо Логически изрази: 100 напълно програмируеми; до 5 действия, 5 събития на израз Стандарт: RS232 Опционално: Ethernet Резолюция на дебелината: 1 Å за 0 до 9.999 kÅ 10 Å за 10.00 до 99.99 kÅ 100 Å за 100.0 до 999.9 kÅ 1 kÅ за 1000 до 9999 k Резолюция на скоростта: 0.001 за 0 до 9.999 Å/s 0.01 за 0 до 99.99 Å/s 0.1 за 100 до 999.9 Å/s Изисквания за захранване: 100 – 230 V (променлив ток) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz Работна температура: 0 до 50 C (32 до 122 F) Размери, без монтажи (височина x ширина x дълбочина): 5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm) Тегло: 13 lbs (5.9 kg)