Анализатори на остатъчни газове (RGA) и Масови спектрометри

Управление на инструменти, специфично за процеса Системите за интеграция и анализ на сензори INFICON предоставят верификация и контрол на процеса, включително контрол от цикъл до цикъл на ключови параметри на процеса за оптимизация на процеса и незабавна и автоматична обратна връзка към процесното оборудване или към инженер по процесите за всякакви открити грешки и вероятната им причина. Системата за интеграция и анализ на сензори FabGuard взема данни от in situ сензори, интегрира тези данни с данни от самото процесно оборудване и ги кондензира и анализира, за да предостави на инженера по процесите информация, която може да бъде приложена. Алтернативно, инженерът може да избере FabGuard автоматично да изпраща команди за контрол директно към процесното оборудване. Мощно управление на данни за повишена производителност Нека данните на вашата фабрика работят за вас. Системата за интеграция и анализ на сензори FabGuard повишава производителността на инструментите, като предоставя контрол на процеса и намалява загубите от отклонение на процеса, замърсяване, неизправност на инструмента или ненужни тестове...