Устройства на основата на мембрана

Тази технологична платформа позволява структурирането на тънки мембрани на базата на силициеви вафли или SOI вафли, също и чрез методи за свързване на вафли. Мембраните могат да се състоят от различни тънки слоеве или слоеви стекове. Установените материални системи включват например мембранни материали като Si, SiO2, Si3N4, AlN и графен, както и електродни материали като Al, Au, Pt и метално стъкло. След монтажа мембраните се освобождават чрез процеси на изтъняване и ецване с помощта на селективна ецваща техника. Технологичната платформа е изградена на основата на 6-инчови вафли и се развива непрекъснато. Настоящите примери за устройства са CMUT и PMUT за приложения в безразрушителен мониторинг/анализ на материали, измерване на разстояние, разпознаване на обекти, измерване на ниво, както и ендоскопска и акустична и фотоакустична образна диагностика. Други приложения на тези технологии включват например сензори за налягане, както и оптични филтри и затвори.